[发明专利]双波长激光退火装置及其方法

摘要

本发明涉及双波长激光退火装置及方法，包含绿光激光器和红外激光器，绿光激光器的输出光路上依次布置扩束模块、绿光条形光斑整形模块和绿光45度反光镜，红外激光器的输出光路上依次布置红外条形光斑整形模块和红外45度反光镜，绿光45度反光镜和红外45度反光镜的输出光路设置有合束投影聚焦镜，合束投影聚焦镜的输出光路设有可变光阑，可变光阑的输出端正对于加工平台。通过光学组件调节使两束激光合于一束，经光学元件间配合调节转换后，由高斯圆形分布转换为条形高斯分布，合束后激光为条形光斑；红外波长的引入，使光斑具有更深的退火深度，使激光作用在材料表面瞬间温度升高，提高注入离子的激活率，具有更优异的加工效果。

主权项

双波长激光退火的方法，其特征在于：绿光激光器发出激光束经扩束模块扩束，扩束后的光束进入绿光条形光斑整形模块使输出的光束具有均匀的能量密度，继而，由绿光45度反光镜使光线路线折弯和传输；红外激光器发出的激光束进入红外条形光斑整形模块使输出的光束具有均匀的能量密度，继而，由红外45度反光镜使光线路线折弯和传输；绿光45度反光镜和红外45度反光镜反射的光束由合束投影聚焦镜聚焦为缩小的条形光斑，光斑在长轴为平顶分布，短轴为高斯分布，最后由可变光阑调整长轴条形光斑的长度，使能量分布为长条形激光光斑同时聚焦于加工件表面。