[发明专利]一种玻璃基板的薄化工艺方法在审
| 申请号： | 201410724333.9 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104445976A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 曾莹 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种玻璃基板的薄化工艺方法，包括：利用水溶胶贴合第一玻璃基板和第二玻璃基板；对所述水溶胶进行固化；固化完成后，对所述第一玻璃基板和第二玻璃基板背离所述水溶胶的一侧进行薄化；薄化完成后，将贴合的第一玻璃基板和第二玻璃基板浸泡在水溶液中，直至第一玻璃基板和第二玻璃基板分离。由此可见，本发明实施例所提供的工艺方法，利用水溶胶实现所述第一玻璃基板和第二玻璃基板之间的贴合，待薄化完成后，再利用水溶液浸泡，实现第一玻璃基板和第二玻璃基板的分离，从而避免了薄化完成后，分离第一玻璃基板和第二玻璃基板过程中出现碎片的现象，显著降低了薄化工艺中玻璃基板的碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 化工 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的薄化工艺方法，其特征在于，包括：利用水溶胶贴合第一玻璃基板和第二玻璃基板，并对所述水溶胶进行固化；固化完成后，对所述第一玻璃基板和第二玻璃基板背离所述水溶胶的一侧进行薄化；薄化完成后，将贴合的第一玻璃基板和第二玻璃基板浸泡在水溶液中，直至第一玻璃基板和第二玻璃基板分离。
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