[发明专利]一种规整排列纳米粗化蓝宝石衬底及制备方法在审
| 申请号： | 201410724538.7 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104465900A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 逯瑶;曲爽;王成新;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种规整排列纳米粗化蓝宝石衬底及制备方法，该蓝宝石衬底上具有微米量级图形和纳米量级图形相结合的复合图形，每个微米量级图形上分布有纳米量级图形，纳米量级图形分布在微米量级图形上表面的半径或重心与各角的连线上。所述纳米量级图形下表面的中心点与所述微米量级图形上表面的半径的中点或重心与各角的连线的中点重合。每个微米量级图形上的纳米量级图形分布对称。首先在蓝宝石衬底上制备微米量级图形，然后再在微米量级图形上制备纳米量级图形。本发明可以有效地改变光的传播方向，提高光逸出的几率，可使光路有效地出射，更加增强了图形对于光的反射，从而改变光的传播方向，增强蓝宝石衬底GaN基LED的光提取效率和光输出功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 规整 排列 纳米 蓝宝石 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种规整排列纳米粗化蓝宝石衬底，其上具有微米量级图形和纳米量级图形相结合的复合图形，其特征是，每个微米量级图形上分布有纳米量级图形，纳米量级图形分布在微米量级图形上表面的半径或重心与各角的连线上。
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