[发明专利]可自调谐的磁控管微波源MPT、自调谐装置及控制方法有效
| 申请号： | 201410726630.7 | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104470183A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 金伟;于丙文;朱旦;金钦汉;叶莹;徐星;王熙星 | 申请（专利权）人： | 浙江中控研究院有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可自调谐的磁控管微波源MPT、自调谐装置及控制方法，MPT包括耦合天线（5）、调节件（6），装置包括磁控管微波源，控制模块（2），传动装置（3）。所述磁控管微波源与所述耦合天线（5）相连，调节件（6）与所述传动装置（3）相连，所述传动装置（3）与控制模块（2）相连，所述控制模块（2）与所述磁控管微波源相连。其中，所述微波源产生微波电磁场为MPT提供微波能，同时从耦合天线（5）获取MPT的反馈信息，磁控管微波源将反馈信息中的反射功率值提取出来并反馈给控制模块（2），控制模块依据反射功率值以及预设的参数关系曲线向所述传动装置（3）发出控制信号，传动装置（3）带动调节件（6）移动。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 磁控管 微波 mpt 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种磁控管微波源MPT自调谐装置，所述微波等离子体炬（4）包括耦合天线（5）、调节件（6），其特征在于，所述装置包括磁控管微波源，控制模块（2），传动装置（3）；所述微波源与所述耦合天线（5）相连，所述调节件（6）与所述传动装置（3）相连，所述传动装置（3）与所述控制模块（2）相连，所述控制模块（2）与所述磁控管微波源相连；其中，所述磁控管微波源用以：产生微波电磁场，从而为微波等离子体炬（4）提供微波能，从耦合天线（5）获取微波等离子体炬（4）的反馈信息，将反馈信息中的反射功率值提取出来并反馈给控制模块（2）；所述控制模块用以依据所述反射功率值以及预设的参数关系曲线向所述传动装置（3）发出控制信号；所述传动装置（3）用以根据所述控制信号带动调节件（6）移动。
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