[发明专利]用于深脑刺激与神经调控的超声面阵探头及其制备方法

摘要

用于深脑刺激与神经调控的超声面阵探头及其制备方法首先制备出M*N型压电复合材料，溅射电极层后进行电极切割划分，此切割工艺将相对面的电极信号引线引在同一面。然后添加第一匹配层、第二匹配层和声透镜。最后用镂空的FPC板焊在面阵的行电极或列电极上。再添加背衬层，用外壳将以上制备的探头封装。采用压电复合材料阵列单面行、列接线方式，每个阵元的工作状态由电压在某一行(或列)、某一列(或行)的通或断来选择控制，减少引线数目。同时，采用单面集中引线方式更加简单、快捷、可靠。因此，对匹配层、背衬层是否导电没有限制，并且不用切割匹配层、背衬材料，降低了工艺难度和复杂度。

主权项

1.一种用于深脑刺激与神经调控的超声面阵探头的制备方法；包括以下步骤：取精磨后的压电复合材料，沿其横向切割出M行凹形槽，并在凹形槽内添加去耦材料；再沿其纵向切割出N列凹形槽，并在凹形槽内添加去耦材料；其中，M行凹形槽和N列凹形槽的朝向一致；将切割后的压电复合材料的M行凹形槽和N列凹形槽的槽体均磨去，使其露出添加的去耦材料，形成M*N压电复合材料阵列；将所述M*N压电复合材料阵列溅射电极层，去除所述M*N压电复合材料阵列沿厚度方向的第一长侧面、第二长侧面上的电极层；所述第一长侧面、所述第二长侧面沿所述M*N压电复合材料阵列的横向延伸；将所述M*N压电复合材料阵列的第一正面沿N列凹形槽去除电极层，保留所述第一正面纵向边缘的电极层且沿M行凹形槽切除横向的电极层；将所述M*N压电复合材料阵列的第一短侧面、第二短侧面、第二正面沿M行凹形槽去除电极层；将所述M*N压电复合材料阵列的第二正面依次粘接第一匹配层、第二匹配层及声透镜；将柔性电路板分别接所述M*N压电复合材料阵列的M行电极层和N列电极层；将背衬层与连接柔性电路板后的所述M*N压电复合材料阵列的电极层粘接，从而形成超声面阵探头；还包括将连接柔性电路板和粘接背衬层、第一匹配层、第二匹配层及声透镜后的所述M*N压电复合材料阵列使用外壳封装。