[发明专利]一种抗海水腐蚀多层复合结构的AlCrSiN薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201410728396.1 | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104441828A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张世宏;吴东青;陈汪林;方炜;权植哲 | 申请（专利权）人： | 马鞍山多晶金属材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B9/04;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人： | 王雅辉 |
| 地址： | 243071 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗海水腐蚀多层复合结构的AlCrSiN薄膜及其制备方法，包括由下至上依次沉积在基体表面的Cr界面打底层、CrN过渡层、AlCrN粘结层和AlCrSiN工作层；所述AlCrN粘结层为CrN和AlCrN的调制纳米多层渐变结构，调制周期为5～6nm；所述AlCrSiN工作层为外延生长的超晶格结构，调制周期为1～2nm；将带有AlCrSiN薄膜的基体退火处理，薄膜物相由原先CrN/(Cr，Al)N相转变成Cr2N、hcp-AlN、AlCr2相。薄膜在退火后具有超过53N的膜基结合力，在3.5％NaCl模拟海水溶液中薄膜腐蚀电位为0.045V，自腐蚀电流为8.805×10-10A.cm-2；相比基体，腐蚀电位提高0.401V，薄膜对基体的保护效率提高了97.50％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 海水 腐蚀 多层 复合 结构 alcrsin 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种抗海水腐蚀多层复合结构的AlCrSiN薄膜，其特征在于，包括由下至上依次沉积在基体表面的Cr界面打底层、CrN过渡层、AlCrN粘结层和AlCrSiN工作层；所述AlCrN粘结层为CrN和AlCrN的调制纳米多层渐变结构，调制周期为5～6nm；所述AlCrSiN工作层为外延生长的超晶格结构，调制周期为1～2nm；将带有AlCrSiN薄膜的基体退火处理，薄膜物相由原先CrN和/或(Cr，Al)N相转变成Cr2N、hcp‑AlN、AlCr2相。
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