[发明专利]一种测试硅锭提纯工艺出成率的方法在审
| 申请号： | 201410728690.2 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN104502416A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张银娣;杨文龙;姜大川;侯振海;盛文德;任世强;张磊;甘传海;张晓峰;刘瑶 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京双收知识产权代理有限公司 11241 | 代理人： | 陈磊;杨金凤 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测试硅锭提纯工艺出成率的方法，在提纯后的硅锭上寻找电阻率跃变点，电阻率跃变点的高度除以硅锭总高度即为硅锭提纯工艺的出成率。此方法采用硅材料测试仪或电阻率测试仪测试硅锭电阻率，通过电阻率跃变点对应的硅锭高度除以硅锭总高度即得出硅锭提纯工艺的出成率。该方法高效便捷，可以随时随地进行检测分析，摆脱了实验室复杂的测试工序，提高了效率，仅需一台简单的硅材料测试仪或电阻率测试仪即可解决问题，对于定向提纯来说是一种行之有效的出成率测试手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 提纯 工艺 出成率 方法 | ||
【主权项】：
一种测试硅锭提纯工艺出成率的方法，其特征在于，在提纯后的硅锭上寻找电阻率跃变点，电阻率跃变点对应的硅锭高度除以硅锭总高度即为硅锭提纯工艺的出成率，硅锭形貌为柱状晶。
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