[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 201410733436.1 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104948475A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58;F04D29/52 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是关于一种可抑制反应生成物堆积于内侧螺纹定子上的真空泵。螺纹定子(60)包括经热耦合的外侧螺纹定子(41)及内侧螺纹定子(51)。在转子下部圆筒部(4B)，形成有将外侧螺纹定子(51)侧与内侧螺纹定子(41)侧连通的气体通路连通用开口部(76)。外侧螺纹定子(41)及内侧螺纹定子(51)分别借由隔热材料(70A)、(70B)而与基座(13)的上部以及中央筒部(14)隔热。在基座(13)的下部，设置有基座下部冷却管(74)。根据本发明，内侧定子与外侧定子相互热耦合，因此可从温度高的任一定子产生热移动而进行升温，从而抑制反应生成物堆积于内侧定子及外侧定子。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
一种真空泵，包括包含转子圆筒部及定子的螺纹槽排气部，从排气端口排出自吸气口吸入的气体，所述真空泵的特征在于包括：基座，构成泵容器；转子，包括所述转子圆筒部；内侧定子，在所述内侧定子与所述转子圆筒部的内周面之间形成所述螺纹槽排气部的内侧气体排气通路；外侧定子，在所述外侧定子与所述转子圆筒部的外周面之间形成所述螺纹槽排气部的外侧气体排气通路，并且与所述内侧定子热耦合；连通用开口部，设置于所述转子，将所述外侧气体排气通路与所述内侧气体排气通路在上游侧连通；排气口，使通过所述外侧气体排气通路及所述内侧气体排气通路而合流的气体从螺纹槽排气部向所述排气端口排出；以及基座冷却装置，使所述基座冷却。
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