[发明专利]定域水平排列1DZnO微纳米结构阵列的LED在审
申请号: | 201410733725.1 | 申请日: | 2014-12-05 |
公开(公告)号: | CN104362231A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 郭振 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/02 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215163 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种定域水平排列1DZnO微纳米结构阵列LED的制造方法,实现定域水平排列1DZnO微纳米结构阵列,其特征在于,制备梳理结构,利用梳理结构将图形化垂直排列的ZnO微纳米结构阵列转化为水平排列并且水平取向可控的1DZnO微纳米结构阵列。与现有技术相比,本发明利用梳理结构实现了垂直1DZnO微纳米结构阵列向水平取向可控排列的转换,从而可以获得大面积、批量化水平排列1DZnO微纳米结构阵列,其取向偏差角可达到0.3°到2.3°之间,为LED或者其他光电器件的集成、批量化制造提出了一种新的方法。 | ||
搜索关键词: | 水平 排列 dzno 纳米 结构 阵列 led | ||
【主权项】:
定域水平排列1D ZnO微纳米结构阵列的制造方法,合成垂直排列的ZnO微纳米结构阵列,其特征在于,制备梳理结构,利用梳理结构将垂直排列的ZnO微纳米结构阵列转化为水平排列的ZnO微纳米结构阵列。
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