[发明专利]定域水平排列1DZnO微纳米结构阵列的LED在审

专利信息
申请号: 201410733725.1 申请日: 2014-12-05
公开(公告)号: CN104362231A 公开(公告)日: 2015-02-18
发明(设计)人: 郭振 申请(专利权)人: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/02
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 215163 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种定域水平排列1DZnO微纳米结构阵列LED的制造方法,实现定域水平排列1DZnO微纳米结构阵列,其特征在于,制备梳理结构,利用梳理结构将图形化垂直排列的ZnO微纳米结构阵列转化为水平排列并且水平取向可控的1DZnO微纳米结构阵列。与现有技术相比,本发明利用梳理结构实现了垂直1DZnO微纳米结构阵列向水平取向可控排列的转换,从而可以获得大面积、批量化水平排列1DZnO微纳米结构阵列,其取向偏差角可达到0.3°到2.3°之间,为LED或者其他光电器件的集成、批量化制造提出了一种新的方法。
搜索关键词: 水平 排列 dzno 纳米 结构 阵列 led
【主权项】:
定域水平排列1D ZnO微纳米结构阵列的制造方法,合成垂直排列的ZnO微纳米结构阵列,其特征在于,制备梳理结构,利用梳理结构将垂直排列的ZnO微纳米结构阵列转化为水平排列的ZnO微纳米结构阵列。
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