[发明专利]一种在塑封过程中贴装石墨烯散热薄膜的方法有效
申请号: | 201410734329.0 | 申请日: | 2014-12-04 |
公开(公告)号: | CN104505347A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 崔丽静;李宗怿;夏冬;王菲菲;吴海鸿 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/373 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210 | 代理人: | 唐纫兰;沈国安 |
地址: | 214434江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种在塑封过程中贴装石墨烯散热薄膜的方法,所述方法包括以下步骤:步骤一、首先将石墨烯散热薄膜黏贴在承载膜上,石墨烯与承载膜有粘性的一面接触;然后将石墨烯薄膜根据基板尺寸进行预切割,在切割过程中,需控制切割厚度,切割至承载膜,使承载膜在后续使用时不断裂;步骤二、将预处理完成的石墨烯薄膜贴于塑封模具上模模壁上步骤三、合模、开模注塑过程;步骤四、开模后,卷轴转动为下次塑封做准备。本发明不仅能满足散热要求和工艺要求,同时使生产连续、一体化,比贴装散热片的封装产品减少了生产工艺流程,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 塑封 过程 中贴装 石墨 散热 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种在塑封过程中贴装石墨烯散热薄膜的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:步骤一、对石墨烯散热薄膜进行预处理(1)首先将石墨烯散热薄膜黏贴在承载膜上,石墨烯与承载膜有粘性的一面接触;(2)将石墨烯薄膜根据基板尺寸进行预切割,在切割过程中,需控制切割厚度,切割至承载膜,使承载膜在后续使用时不断裂;步骤二、塑封模具上安装石墨烯薄膜将预处理完成的石墨烯薄膜安装在塑封模具上模步骤三、合模、开模注塑过程注塑模具下模固定,上模上下移动,进行开模合模动作,注塑过程中石墨烯薄膜跟随上模一起下压进行合模,注塑完成后,石墨烯薄膜成功的粘附在芯片背面塑封体表面;步骤四、开模后,卷轴转动为下次塑封做准备当注塑完成,上模开模后,塑封好的产品被移走,将未塑封的产品继续放入模穴中,同时塑封模具上模的卷轴转动,使上模模壁紧贴载有石墨烯薄膜的承载膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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