[发明专利]4700nm带通红外滤光敏感元件

摘要

本发明公开了一种4700nm带通红外滤光敏感元件，包括以蓝宝石为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的一种4700nm带通红外滤光敏感元件，其中心波长4700±20nm，其在石化系统红外气体检测过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件的峰值透过率Tp≥80％，带宽=90±10nm，400～14000nm（除通带外），Tavg<0.5%。

主权项

一种4700nm带通红外滤光敏感元件，包括以蓝宝石为原材料的基板（2），以Ge、SiO为第一镀膜层（1）和以Ge、ZnS为第二镀膜层（3），且所述基板（2）设于第一镀膜层（1）与第二镀膜层（3）之间，其特征是所述第一镀膜层（1）由内向外依次排列包含有103nm厚度的Ge层、346nm厚度的SiO层、160nm厚度的Ge层、160nm厚度的SiO层、122nm厚度的Ge层、353nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、294nm厚度的SiO层、145nm厚度的Ge层、203nm厚度的SiO层、101nm厚度的Ge层、478nm厚度的SiO层、215nm厚度的Ge层、301nm厚度的SiO层、145nm厚度的Ge层、604nm厚度的SiO层、245nm厚度的Ge层、265nm厚度的SiO层、126nm厚度的Ge层、645nm厚度的SiO层、243nm厚度的Ge层、323nm厚度的SiO层、37nm厚度的Ge层、788nm厚度的SiO层、416nm厚度的Ge层、807nm厚度的SiO层、487nm厚度的Ge层、339nm厚度的SiO层；所述的第二镀膜层（3）由内向外依次排列包含有140nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、561nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、561nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、526nm厚度的ZnS层、207nm厚度的Ge层、849nm厚度的ZnS层。