[发明专利]金属合金靶材制备含氢氧化锌铝透明导电薄膜的方法

摘要

一种金属合金靶材制备含氢氧化锌铝透明导电保膜的方法。本发明采用磁控溅射方法，靶材为铝重量百分比2％的锌铝合金，衬底为普通钠玻璃，以氩气和水蒸气作为溅射气氛，其中水蒸气作为反应气体，密封水罐为水蒸气源，采用针阀和恒温装置控制水蒸气流量。首先将溅射真空腔体背底真空抽至8.0×10‑4pa，样品台温度为室温至250℃，打开贮水罐管道上的针阀，向真空腔体中通入水蒸气。通过针阀调整水蒸气压力范围为5×10‑3pa～5.0×10‑2pa，再向真空腔体中通入氩气，通过调整质量流量计，调整真空腔体的真空度至0.2Pa～1Pa。开始溅射，将溅射功率调节至50W～100W。待辉光稳定后，移开挡板，开始沉积氧化锌铝膜。沉积时间为20min～40min。待样品台温度低于100℃时打开真空腔体，取出氧化锌铝膜样品。

主权项

一种金属合金靶材制备含氢氧化锌铝透明导电薄膜的方法，其特征在于，所述的制备方法采用金属靶反应磁控溅射，步骤如下：(1)用丙酮、去离子水、酒精先后超声清洗钠钙玻璃衬底5min，烘干后装入样品台，并安装好ZnAl合金靶材；(2)打开磁控溅射设备真空机组，将溅射设备的真空腔体背底真空抽至8.0×10‑4pa，随后将样品台升温至250℃；(3)将贮水罐放入冰水混合物中，并热平衡20min；(4)打开贮水罐管道上的针阀，向真空腔体中通入水蒸气，通过针阀调整水蒸气为5×10‑2P a,再向真空腔体中通入氩气，通过质量流量计调整真空腔体的真空度至1.0Pa，开始溅射，将溅射功率调至100W，待辉光稳定后，移开挡板，开始沉积，沉积时间为20min， 待样品台温度低于100℃，打开真空腔体，取出样品；所述ZnAl合金靶材纯度为99.999％，其中Al重量百分比含量为2％，靶基距为110mm所制备薄膜厚度为800nm。