[发明专利]一种光刻胶喷头保湿装置及其保湿方法

摘要

本发明涉及防止光刻胶凝结阻塞喷头的装置，具体地说是一种光刻胶喷头保湿装置及其保湿方法，装置包括通断回吸阀、光刻胶喷头、喷头保湿盒及通断阀，喷头保湿盒的入口通过润湿液管路与润湿液源相连通，在润湿液管路上设有通断阀，喷头保湿盒的出口通过润湿液排废管路与润湿液排废盒相连通；光刻胶喷头位于喷头保湿盒中，通过光刻胶管路与光刻胶源相连通，在光刻胶管路上设有通断回吸阀；方法为通过控制光刻胶管路上的通断回吸阀及润湿液管路的通断阀通断的时序，使光刻胶喷头内径处形成润湿液阻隔光刻胶与外界空气的阻隔层，同时润湿液阻隔层与光刻胶之间由空气层隔绝的形式，以达到光刻胶喷头保湿的目的。本发明具有结构简单、操作方便的特点。

主权项

一种光刻胶喷头保湿装置，其特征在于：包括通断回吸阀(1)、光刻胶喷头(3)、喷头保湿盒(4)及通断阀(7)，其中喷头保湿盒(4)的入口通过润湿液管路(5)与润湿液源(E)相连通，并在该润湿液管路(5)上设有所述通断阀(7)，所述喷头保湿盒(4)的出口通过润湿液排废管路(6)与润湿液排废盒(C)相连通；所述光刻胶喷头(3)位于喷头保湿盒(4)中，通过光刻胶管路(2)与光刻胶源(B)相连通，并在所述光刻胶管路(2)上设有所述通断回吸阀(1)。