[发明专利]一种基于微机电系统的光传感装置和光传感方法在审
| 申请号： | 201410746796.5 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104501842A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 周秀娟 | 申请（专利权）人： | 周秀娟 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 201615 上海市松江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光传感器技术领域，具体涉及一种基于微机电系统的光传感装置，包括：光源，用于输出光子信号；微机电单元，包括相互连接的感应运动模块和光变模块，所述感应运动模块用于感应外界信息并根据外界信息进行机械变化，所述光变模块用于改变光子信号的物理特征，所述光变模块通过感应运动模块带动进行机械变化；光接收单元，用于接收通过微机电单元的光子信号并转换成电信号。还涉及一种基于微机电系统的光传感方法。本发明通过设计一种光传感装置和光传感方法，根据反应外界信息的变化改变光子信号的物理特征，提高对外界信息的变化的灵敏度，还具有电绝缘性能好、抗电磁干扰能力强、非侵入性和适应性强等优点，并适于应用在各种环境中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微机 系统 传感 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微机电系统的光传感装置，其特征在于，包括：光源，用于输出光子信号；微机电单元，包括相互连接的感应运动模块和光变模块，所述感应运动模块用于感应外界信息并根据外界信息进行机械变化，所述光变模块用于改变光子信号的物理特征，所述光变模块通过感应运动模块带动进行机械变化；光接收单元，用于接收通过微机电单元的光子信号并转换成电信号；所述微机电单元分别与光源和光接收单元连接。
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