[发明专利]一种太赫兹波段的显微镜

摘要

一种太赫兹波段的显微镜，属于太赫兹波段的探测装置，解决现有太赫兹波段成像探测装置结构复杂、稳定性差、成像速度慢的问题。本发明包括透光载玻片、编码板、取景窗、汇聚镜及太赫兹探测器；编码板为表面具有能遮挡太赫兹波段光的亚波长厚度金属镀膜的基板，金属镀膜上制作有亚波长小孔阵列，所述亚波长小孔阵列中，各小孔按循环s矩阵分布，小孔孔径小于瑞利判据中的r值；经透光载玻片上的样品过来的太赫兹光在所述编码板的小孔中被提取转换为传导波并经所述取景窗取样，再经过汇聚镜汇聚送往太赫兹探测器接收。本发明结构简单、稳定性好、成像速度较快，太赫兹光波段图像分辨率为15微米左右，为细胞、薄层组织及材料研究提供了新观察平台。

主权项

一种太赫兹波段的显微镜，包括透光载玻片(1)以及位于其上方、自下而上顺序紧密排列并连接的编码板(3)、取景窗(4)和汇聚镜(5)，汇聚镜(5)上方设置太赫兹探测器(6)，所述取景窗为矩形透光窗，其特征在于：所述编码板(3)为表面具有能遮挡太赫兹波段光的亚波长厚度金属镀膜的基板，所述基板为能够透过太赫兹波段光的高阻硅板或石英板，金属镀膜上制作有亚波长小孔阵列，所述亚波长小孔阵列中，各小孔按循环s矩阵分布，小孔孔径小于瑞利判据中的r值；所述汇聚镜为能够汇聚太赫兹束的硅透镜或者聚合物透镜；所述太赫兹探测器为能够探测太赫兹波的单元探测器；经透光载玻片(1)上的样品(2)过来的太赫兹光(11)在所述编码板(3)的小孔中被提取转换为传导波并经所述取景窗(4)取样，再经过汇聚镜(5)汇聚送往太赫兹探测器(6)接收。