[发明专利]一种原位测试样品平台有效
申请号: | 201410748771.9 | 申请日: | 2014-12-09 |
公开(公告)号: | CN104458780B | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
发明(设计)人: | 朱大明;李晓龙;刘春泽;顾月良;阴广志;高兴宇;黎忠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | G01N23/20 | 分类号: | G01N23/20;G01N23/201 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人: | 邓琪,余中燕 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种原位测试样品平台,包括样品台;样品台底座,其安装在所述样品台的下表面;用于承载样品的陶瓷加热片,其内部设有电热丝和热电偶;加热片支撑架,其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方;温度控制系统,其连接至所述电热丝和所述热电偶,以实时控制所述陶瓷加热片的温度;以及循环水冷系统,其固定连接至所述样品台的下表面,以对所述样品台进行冷却。本发明能够以在线的方式对样品的升温、高温热处理和降温过程进行原位测试,并且由于温度控制系统和循环水冷系统互不影响,能够在保证循环水冷系统正常工作的条件下,使样品台温度不至于太高,并且不影响陶瓷加热片正常高温工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 原位 测试 样品 平台 | ||
【主权项】:
一种高温原位测试样品平台,其特征在于,包括:样品台;样品台底座,其安装在所述样品台的下表面;用于承载样品的陶瓷加热片,其内部设有电热丝和热电偶;加热片支撑架,其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方,包括安装在所述陶瓷加热片下表面的横向陶瓷柱、以及分别支承在所述横向陶瓷柱两端的支承台,所述支承台安装在样品台上;温度控制系统,其连接至所述电热丝和所述热电偶,以实时控制所述陶瓷加热片的温度;以及循环水冷系统,其固定连接至所述样品台的下表面,以对所述样品台进行冷却。
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