[发明专利]一种多晶硅铸锭用高效氮化硅粉的制备方法在审
| 申请号： | 201410749350.8 | 申请日： | 2014-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104532344A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 郭大为;吕东;宋丽岑;柏小龙;孙洪亮;郭大荣 | 申请（专利权）人： | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 265500 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用高效氮化硅粉的制备方法，包括：采用纯度大于99.9％、粒径为0.01μm～10μm的硅粉、碳化硅粉和氮化硅粉为原料，溶于纯水中搅拌混合均匀，得到混合剂，其中，硅粉和碳化硅粉的混合物作为多晶铸锭形核剂；待石英坩埚进行常规的氮化硅喷涂结束后，将混合剂喷涂或刷涂在石英坩埚的底部以及侧壁，形成厚度为0.01mm～2mm的混合剂涂层，待混合剂涂层干燥后，获得不龟裂的混合剂涂层与/或龟裂的混合剂涂层，最后装料铸锭，获得多晶硅铸锭。本方法能获得晶粒大小均匀、硅锭缺陷少、位错密度低、成品率高的多晶硅锭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 高效 氮化 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用高效氮化硅粉的制备方法，其特征在于，包括：1)采用纯度大于99.9％、粒径为0.01μm～10μm的硅粉、碳化硅粉和氮化硅粉为原料，溶于纯水中搅拌混合均匀，得到混合剂，其中，硅粉和碳化硅粉的混合物作为多晶铸锭形核剂；2)待石英坩埚进行常规的氮化硅喷涂结束后，将混合剂喷涂或刷涂在石英坩埚的底部以及侧壁，形成厚度为0.01mm～2mm的混合剂涂层，待混合剂涂层干燥后，获得不龟裂的混合剂涂层与/或龟裂的混合剂涂层，最后装料铸锭，长晶时不龟裂的混合剂涂层以硅与碳化硅作为形核点进行铸锭生长，而龟裂的混合剂涂层则以硅、碳化硅及裂缝作为形核点长晶，获得多晶硅铸锭。
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