[发明专利]一种光刻机的控制方法及装置有效
| 申请号： | 201410755863.X | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104375391A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 黄建 | 申请（专利权）人： | 志圣科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机的控制方法及装置，光刻机装置包括机台主体，所述机台主体内设有光刻室，所述光刻室内顶部设有紫外灯，所述光刻室内底部设有光刻装置，所述光刻装置包括由下而上依序设置的光刻平台、底片和底片固定座，所述的光刻平台和底片之间形成工作物夹持空间，所述光刻平台内布设有冷却水路，所述冷却水路的进水端连接的进水管上依次设有电液比例阀、过滤系统和进水球阀，所述冷却水路的出水端连接的出水管上设有出水球阀。本发明的光刻机的控制方法及装置能有效提升设备的对位精度和解析能力，能使用于COLLER STN产品的生产，替代进口设备，大幅度降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机装置，包括机台主体，所述机台主体内设有光刻室，所述光刻室内顶部设有紫外灯，所述光刻室内底部设有光刻装置，所述光刻装置包括由下而上依序设置的光刻平台、底片和底片固定座，所述的光刻平台和底片之间形成工作物夹持空间，其特征在于：所述光刻平台内布设有冷却水路，所述冷却水路的进水端连接的进水管上依次设有电液比例阀、过滤系统和进水球阀，所述冷却水路的出水端连接的出水管上设有出水球阀。
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