[发明专利]一种从多波长混合相移干涉图中提取相位信息的方法无效
| 申请号： | 201410755957.7 | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104535533A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王翰林;赵晖;刘满林;刘俊;张浠;安昕 | 申请（专利权）人： | 佛山市南海区欧谱曼迪科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 深圳市盈方知识产权事务所(普通合伙) 44303 | 代理人： | 周才淇;朱晓江 |
| 地址： | 528251 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种从多波长混合相移干涉图中提取相位信息的方法，其包括以下步骤：将幅干涉图的一维数据写成一个干涉图矩阵形式，每一张干涉图为干涉图矩阵的列向量；获得干涉图的背景分量矩阵；从干涉图矩阵中获得协方差矩阵；对协方差矩阵进行对角化处理得到对角化协方差矩阵；根据对角化协方差矩阵，干涉图矩阵和背景分量矩阵获取干涉图的主成份；根据主成份通过反正切函数求解干涉图的相位；通过双波长相位解包方法得到物体在合成波长下的相位分布。采用本发明仅需要使用矩阵运算便可以得到定量相位分布，该算法需要的计算时间少于多数频率域算法，同时需要的分时曝光的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 混合 相移 干涉 提取 相位 信息 方法 | ||
【主权项】：
一种从多波长混合相移干涉图中提取相位信息的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将N幅干涉图的一维数据写成一个干涉图矩阵X形式，每一张干涉图为干涉图矩阵X的列向量；S2：获得干涉图的背景分量矩阵Imean；S3：从干涉图矩阵X中获得协方差矩阵C；S4：对协方差矩阵C进行对角化处理得到对角化协方差矩阵D；S5：根据对角化协方差矩阵D，干涉图矩阵X和背景分量矩阵Imean获取干涉图的主成份；S6：根据主成份通过反正切函数求解干涉图的相位；S7：通过双波长相位解包方法得到物体在合成波长下的相位分布，其中，所述背景分量矩阵和干涉图矩阵X具有同样的维度，且背景分量矩阵中所有元素的值代表干涉图中的背景强度，为各个干涉图的平均值。
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