[发明专利]一种矩形波导微波等离子体源发生装置在审
| 申请号： | 201410756311.0 | 申请日： | 2014-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104507249A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 于永;王兴华;张寒琦;冯果栋;单洪岩;霍阳;赵振英;王小艳;于爱华;梁芳慧;霍德发;夏国海;于爱民 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 鲁兵 |
| 地址： | 130061吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种矩形波导微波等离子体源发生装置，包括矩形波导谐振腔，载气模块，调节模块，光路模块，电路控制系统，维持气控制系统，样品载气控制系统。本发明提供了一种矩形波导微波等离子体源发生装置，激发能量可以从200瓦到数千瓦，在电路控制系统的作用下，微波能量在谐振腔中将通过的载气电离形成等离子体，这种等离子体含有样品光谱信息并可以通过光路模块传递出来，以实现对介质气中的物质进行分析的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 矩形波导 微波 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种矩形波导微波等离子体源发生装置，其特征在于，包括：矩形波导谐振腔；电路控制系统，连接于所述矩形波导谐振腔的一侧端面上，用于将微波能量输送到矩形波导谐振腔中；载气模块，包括连接至维持气控制系统并将维持气输送至矩形波导谐振腔内的维持气输送通道，以及连接至样品载气控制系统并将样品载气输送至矩形波导谐振腔内的样品载气输送通道；光路模块，用于将维持气与样品载气的混合气在矩形波导谐振腔内受微波激发产生微波等离子体时所发出的光信号导出至分析仪器；维持气控制系统，用于向矩形波导谐振腔内提供维持气；样品载气控制系统，用于向矩形波导谐振腔内提供样品载气。
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