[发明专利]基于电磁‑永磁驱动的超精密驱动装置

摘要

本发明提供了一种基于电磁‑永磁驱动的超精密驱动装置，包括电磁驱动机构、位移驱动机构以及位移输出机构，其中，所述位移驱动机构设置于电磁驱动机构的控制磁场内，所述位移驱动机构在电磁驱动机构的控制磁场作用下产生形变，所述位移输出机构连接于位移驱动机构的形变输出端；所述电磁驱动机构包括永磁驱动体和永磁体；所述永磁体在永磁驱动体的作用下与位移驱动机构之间形成变化的磁场作用力，所述位移驱动机构的外端为形变输出端；本发明通过永磁体有效隔绝永磁驱动体在通电情况下产生的热量，避免热量对位移驱动机构驱动装置产生的影响，实现真正的精密驱动。

主权项

一种基于电磁‑永磁驱动的超精密驱动装置，其特征在于，包括：电磁驱动机构、位移驱动机构以及位移输出机构，其中，所述位移驱动机构设置于电磁驱动机构的控制磁场内，所述位移驱动机构在电磁驱动机构的控制磁场作用下产生形变，所述位移输出机构连接于位移驱动机构的形变输出端；所述电磁驱动机构包括：永磁驱动体和永磁体；所述永磁体在永磁驱动体的作用下与位移驱动机构之间形成变化的磁场作用力，所述位移驱动机构的外端为形变输出端；基于电磁‑永磁驱动的超精密驱动装置还包括：‑框体，所述电磁驱动机构和位移驱动机构分别设置于框体内部，所述位移输出机构至少部分设置于框体内部，所述框体的一侧设有用于位移输出机构位移输出的端口；‑中心轴刚性体，所述中心轴刚性体沿轴向设置于框体的中心处，包括内段和外段，所述外段上设置有放置腔，所述位移驱动机构设置于放置腔内，所述外段的外侧端部设有用于位移驱动机构与位移输出机构连接的开口；所述永磁驱动体采用电磁线圈，所述电磁线圈设置于中心轴刚性体内段的外部；所述永磁体设置于中心轴刚性体的外侧；或，所述永磁体通过旋转轴设置于中心轴刚性体上，初始状态下，所述永磁体的磁极位于中心轴刚性体轴线的上下两侧；当永磁体设置于中心轴刚性体的外侧时，所述永磁体与电磁线圈之间连接有弹簧。