[发明专利]一种多元化合物薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多元化合物薄膜太阳能电池，包括衬底和设置于衬底上的背电极、吸收层，背电极和吸收层之间还设有高掺杂层，高掺杂层为p型掺杂的导电层，其与吸收层之间形成背面电场；还提供了一种制备方法，通过磁控溅射方法在衬底上形成背电极；通过磁控溅射或者化学气相沉积的方法在背电极上形成高掺杂层，其中的高掺杂层为p型掺杂的导电层；在高掺杂层上通过磁控溅射、金属源共蒸发的方法形成多元化合物半导体材料吸收层；在吸收层依次形成缓冲层、窗口层和正面电极，制得多元化合物薄膜太阳能电池。本发明通过在背电极和吸收层之间增加p型掺杂的高掺杂层，其与吸收层之间形成背面电场，从而减少吸收层生长时间，提高生产效率。

主权项

一种多元化合物薄膜太阳能电池，包括衬底和设置于衬底上的背电极、吸收层、缓冲层、窗口层，其特征在于，所述背电极和吸收层之间还设有高掺杂层，所述高掺杂层为p型掺杂的导电层，其与所述吸收层之间形成背面电场；所述高掺杂层由具有宽带隙的半导体材料制成；所述高掺杂层上形成有粗糙度为100nm‑200nm的纹理化结构；所述衬底与所述背电极之间设有阻挡层，所述阻挡层为具有导电性和耐温性能的过渡金属或者过渡金属氮化物，厚度为0.1μm‑0.5μm。