[发明专利]薄膜铂电阻制造方法在审
| 申请号： | 201410757774.9 | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104458046A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 林键;宫建;陈星;师军 | 申请（专利权）人： | 中国航天空气动力技术研究院 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;G01M9/02 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜铂电阻制造方法，其包括：步骤1：将溅射镀膜得到的铂电阻元件进行高温热处理，同时充入氩气。当温度升高到600℃时，保持温度4个小时，时间到后停止保温，开始冷却；步骤2：当铂电阻冷却到160℃时，保持此温度，持续24小时，时间到后，停止保温自然冷却至室温后取出；步骤3：对铂电阻进行银浆描涂引线操作，并经过热处理使银浆浆料烘干和固结，银浆烘干温度保持在150℃，15分钟时间。银浆固结则要经过550℃的高温，同样保持15分钟时间。经过烘干和固结后的铂电阻，银浆引线焊接性能较好。经过本发明处理的薄膜，与基底的附着力显著提高，提高了传感器的使用寿命，保证了热流测量传感器的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 铂电阻 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜铂电阻制造方法，其特征在于，包括：步骤1：将溅射镀膜得到的铂电阻元件进行高温热处理，同时充入氩气。当温度升高到600℃时，保持温度4个小时，时间到后停止保温，开始冷却；步骤2：当铂电阻冷却到160℃时，保持此温度，持续24小时，时间到后，停止保温自然冷却至室温后取出；和步骤3：对铂电阻进行银浆描涂引线操作，并经过热处理使银浆浆料烘干和固结，银浆烘干温度保持在150℃，15分钟时间。银浆固结则要经过550℃的高温，同样保持15分钟时间。
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