[发明专利]具有气动锁紧功能的干涉仪精调机构有效
| 申请号： | 201410760265.1 | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104482879A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王伟荣;黄海涛;杨若霁;忻晓蔚 | 申请（专利权）人： | 上海机床厂有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根;王晶 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有气动锁紧功能的干涉仪精调机构，中座的凸圆弧导向面与底座的凹圆弧导向面配合连接，构成绕X轴旋转副；连接座与中座配合连接，构成绕Z轴旋转副；中座与底座之间装有齿轮齿条传动副，用于实现中座绕X轴方向的转动，连接座与中座之间装有齿轮齿条传动副，用于实现连接座绕Z轴方向转动；底座圆弧导向面上布置气动锁紧部件，用于锁紧中座绕X轴方向转动位置，中座上均布气动锁紧部件，用于锁紧连接座绕Z轴方向转动位置。本发明可使干涉仪绕X轴、Z轴做二自由度位姿调整，调整范围为±5°，调整分辨率为0.1°，满足干涉仪光轴对大尺寸光学元件表面垂直度的调整要求。本发明具有气动锁紧功能，可在调整范围内的任意位置完成自动锁紧。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气动 功能 干涉仪 机构 | ||
【主权项】：
一种具有气动锁紧功能的干涉仪精调机构，具有一个可绕X轴转动的中座（2），一个可绕Z轴转动的连接座（3），一个用于支撑中座的底座（1），其特征在于：所述中座（2）的凸圆弧导向面与底座（1）的凹圆弧导向面配合连接，构成绕X轴旋转副；所述连接座（3）与中座（2）配合连接，构成绕Z轴旋转副；所述中座（2）与底座（1）之间装有齿轮齿条传动副，用于实现中座（2）绕X轴方向的转动，所述连接座（3）与中座（2）之间装有齿轮齿条传动副，用于实现连接座（3）绕Z轴方向的转动；所述底座（1）两端的圆弧导向面上各布置二套气动锁紧部件，用于锁紧中座（2）绕X轴方向的转动位置，所述中座（2）上均布有四套气动锁紧部件，用于锁紧连接座（3）绕Z轴方向的转动位置。
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