[发明专利]一种Bi1-xRExFe0.96Co0.02Mn0.02O3 铁电薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种Bi_1‑xRE_xFe_0.96Co_0.02Mn_0.02O₃铁电薄膜及其制备方法，以硝酸铋、硝酸铁、硝酸钴、醋酸锰和硝酸RE为原料制备Bi_1‑xRE_xFe_0.96Co_0.02Mn_0.02O₃前驱液，其中x＝0.06～0.12，RE为La、Eu或Er，在基板上旋涂上述前驱液，再经匀胶、烘干、退火，得Bi_1‑xRE_xFe_0.96Co_0.02Mn_0.02O₃铁电薄膜。本发明设备要求简单，实验条件容易达到，掺杂量容易控制，能够大幅度提高薄膜的铁电性能，制得的Bi_1‑xRE_xFe_0.96Co_0.02Mn_0.02O₃铁电薄膜均匀性好，漏电流小，并具有较高的剩余极化强度。

主权项

一种Bi_1‑xRE_xFe_0.96Co_0.02Mn_0.02O₃铁电薄膜，其特征在于：其化学式为Bi_1‑xRE_xFe_0.96Co_0.02Mn_0.02O₃，其中RE为La、Eu或Er，x＝0.06～0.12；其晶型为菱形的钙钛矿结构，空间群为R3c，晶胞参数c＝13.37331、α＝β＝90°、γ＝120°；该铁电薄膜在1kHz频率及1090kV/cm测试电场下的饱和极化强度为92.99～124.05μC/cm²、剩余极化强度为57.71～104.43μC/cm²、矫顽场为465～482kV/cm，在40V的测试电压下的漏电流密度为1.07×10^‑4A/cm²。