[发明专利]一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器制作方法

摘要

本发明公开了一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器制作方法，属于波分复用技术领域，意在提供一种产品部件结构少，产品的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用，每个滤波波导光路上的分信号光能调节的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器制作方法。采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波缺口，在每个滤波缺口内安装一片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。

主权项

一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器制作方法，其特征在于，包括如下步骤：（1‑1）制作衬底层（11）、下包层（5）和芯层（12）；先是采用衬底材料制作上表面为水平面的衬底层，然后采用包层材料在衬底层的上表面上沉积制作上表面为水平面的下包层，再采用芯层材料在下包层的上表面上沉积制作上表面为水平面的芯层；（1‑2）在芯层上制作波导光路；（1‑2‑1）如果设芯层上输入的总信号光（13）中包含的分信号光（14）的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N‑1条反射波导光路（2）、N‑1条滤波波导光路（4）和一条入射波导光路（1）；（1‑2‑2）采用光刻和刻蚀在芯层上设置N‑1条反射波导光路，并且N‑1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路（21）的后端和最后一条反射波导光路（24）的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N‑1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；（1‑2‑3）采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；（1‑2‑4）采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路（4）；（1‑2‑5）采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；（1‑3）制作上包层（10）；在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；（1‑4）制作滤波通孔（6）；采用光刻和刻蚀，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔，滤波通孔从上包层穿入，并经过芯层和下包层后从衬底层上穿出；（1‑5）切割成晶元（17）；在制作好滤波通孔后把连接在一起的衬底层、芯层和下包层切割成晶元；（1‑6）制作滤波条；把晶元固定在密封盒（18）内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关（16），每个mems光开关的挡光镜（15）分别伸缩式插入连接在滤波通孔中，并在挡光镜底端固定连接有一块滤波条（7），所述滤波条由若干块水平布置的能分别过滤不同波长分信号光的滤波片组成。