[发明专利]一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法

摘要

本发明公开了一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法，S01，组装模具：模具开毛细缝，毛细缝内等距离填塞直径为0.5mm以下的钼丝或钨丝3～15根，钼丝或钨丝露出模具顶面1mm～10mm，固定钼丝或钨丝，使钼丝或钨丝竖直设置；S02，装炉；S03，抽真空及充氩气；S04，升温；S05，引晶；S06，放肩；S07，等径生长；S08，降温；本发明能够在蓝宝石晶体上生长出直径0.5mm以下，长度15mm以上的微孔，是普通的打孔方法和激光打孔所不能够实现的；微孔的长度可以做到几米或十几米长，以长晶炉的行程为限。

主权项

一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法，其特征在于，包括以下步骤：S01，组装模具：模具开毛细缝，毛细缝内等距离填塞直径为0.5mm以下的钼丝或钨丝若干根，钼丝或钨丝露出模具顶面1 mm～10mm，固定钼丝或钨丝，使钼丝或钨丝竖直设置；S02，装炉：选用M向或C向籽晶，将籽晶固定在籽晶夹头上，装入钼坩埚5kg～7kg焰熔法碎料，模具口放料粒； S03，抽真空及充氩气：关闭炉门，开启机械泵进行抽真空，真空度达到3Pa ～ 10Pa 时关闭真空设备，充氩气至标准大气压；S04，升温：打开加热电源升温到2100℃～2300℃，使模具口料粒熔化；S05，引晶：待模具口的料粒熔化后将籽晶摇下，对籽晶进行烤晶后进行引晶，使籽晶块与熔体熔接，并向上以5mm/h～20mm/h提拉籽晶； S06，放肩：将籽晶杆提拉速率调至放肩限定速度，通过放肩降温使晶体沿着籽晶从模具中间向外生长；S07，等径生长：放肩结束后，进行等径生长，提高拉速到30 mm/h～40mm/h； S08，降温：拉脱晶体脱离模具，开始降温，10h以后降到室温出炉。