[发明专利]一种新型的加速度计的Z轴结构有效
申请号: | 201410766612.1 | 申请日: | 2014-12-11 |
公开(公告)号: | CN104407172A | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 郑国光 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 马佑平;王昭智 |
地址: | 261031 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种加速度计的Z轴结构,所述质量块通过其两侧对称的弹性扭梁连接在锚定部上,所述锚定部位于质量块的正中心,以锚定部为界,所述质量块其中一侧的质量大于其另一侧的质量。本发明的Z轴结构,锚定部位于质量块的正中心位置,也就是说,形成了一个完全对称的Z轴结构,这就使得Z轴加速度计的两个差分电容完全相等,由此可提高芯片的温度特性及抗外界干扰的能力。通过在质量块一侧开孔的方式,使得质量块的两侧质量不相等,这就使得质量块两侧的力矩不平衡,当有外界Z轴方向的加速度输入时,使得整个质量块产生类似跷跷板的运动,从而使得Z轴加速度计对Z轴方向的加速度信号敏感,提高了测量的精度,节省了芯片面积。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 加速度计 结构 | ||
【主权项】:
一种新型的加速度计的Z轴结构,包括质量块(1)、锚定部(2),其特征在于:所述质量块(1)通过其两侧对称的弹性扭梁(4)连接在锚定部(2),所述锚定部(2)位于质量块(1)的正中心,以锚定部(2)为界,所述质量块(1)其中一侧的质量大于其另一侧的质量。
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