[发明专利]一种基于横向梳齿式电容的微梁断裂强度的测试结构

摘要

本发明公开了一种基于横向梳齿式电容的微梁断裂强度的测试结构，包括衬底、门字型热执行结构、横向梳齿电容检测结构和被测微粱结构，整个测试结构关于纵向中轴线L完全对称。所述门字型热执行结构的两根纵梁(202)分别垂直连接于横宽梁(201)的两末端，纵梁(202)的另一端固定在下锚区(203)侧面；所述被测微梁(301)与门字型热执行结构的两纵梁(202)平行，位于它们正中间，一端垂直连接在横宽梁(201)内侧的中部，另一端连接在上锚区(302)的一个侧面；所述横向梳齿电容检测结构由位于门子型结构内的三组完全相同的梳齿结构依次排列在被测微梁锚区(302)的后方，本发明还公开利用横向梳齿差分电容检测拉伸长度，进而确定拉伸力的具体工作方式，灵敏度高、方便可行。

主权项

一种基于横向梳齿式电容的微梁断裂强度的测试结构，其特征在于：包括衬底（1）、门字型热执行结构、被测微粱和横向梳齿电容检测结构，整个结构关于纵向中轴L完全对称；所述门字型热执行结构的两根纵梁（202）分别垂直连接于横宽梁（201）的两末端，纵梁（202）的另一端固定在下锚区（203）侧面；所述被测微梁（301）与门字型热执行结构的两纵梁（202）平行，位于它们正中间，一端垂直连接在横宽梁（201）内侧的中部，另一端连接在上锚区（302）的一个侧面；所述横向梳齿电容检测结构由位于门子型结构内的三组完全相同的梳齿结构依次排列在被测微梁锚区（302）的后方，所有梳齿平行于横宽梁（201）；每组梳齿结构左、右对称，均为左定齿（401）和右定齿（403）夹着一动齿（405），动齿（405）与两侧的左定齿（401）和右定齿（403）的间距完全相同；其中，动齿（405）的一端垂直连接在门字型热执行结构的纵梁（202）内侧，另一端悬空，而左定齿（401）或右定齿（403）的一端连接在位于横宽梁的垂直中线（L）上的第一锚区（402）或第二锚区（404）的侧面，另一端悬空；所述下锚区（203）、上锚区（302）、第一锚区（402）和第二锚区（404）置于衬底（1）上；所述门字型热执行结构、被测微粱和横向梳齿电容检测结构均位于同一平面，平行悬置在衬底（1）上方。