[发明专利]一种电子皮肤及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电子皮肤及其制备方法，电子皮肤是在柔性基板上设有氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器，压力传感器和温度传感器分别位于柔性基板的两侧，氧化物薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，压力传感器用于驱动第一薄膜晶体管，温度传感器用于驱动第二薄膜晶体管。制备方法是在双面覆有导电材料的柔性基板上进行刻蚀、沉积形成氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器。本发明提供的电子皮肤，可以同时测量压力和温度，结构简单，工作电压低、功耗小、灵敏度高、传感器信号间的干扰小。

主权项

一种电子皮肤，其特征在于，在柔性基板上设有氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器，其中所述压力传感器和所述温度传感器分别位于所述柔性基板的两侧，所述氧化物薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，所述压力传感器用于驱动所述第一薄膜晶体管，所述温度传感器用于驱动所述第二薄膜晶体管。