[发明专利]一种Nd掺杂CoZr基高频软磁薄膜及其制备无效
| 申请号： | 201410776723.0 | 申请日： | 2014-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN104465017A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 徐锋;尹媛 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H01F10/12 | 分类号： | H01F10/12;H01F41/18 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 邹伟红;朱显国 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Nd掺杂的CoZr基高频软磁薄膜及其制备。薄膜成分为Co100-x-yZrxNdy，其中x＝9～18,y＝1.5～3。本发明利用复合靶磁控溅射将Nd元素引入CoZr薄膜中，并在溅射过程中利用磁场诱导感生磁各向异性。本发明所得到的Co100-x-yZrxNdy薄膜，保持良好的软磁特性和显著的面内单轴磁各向异性，从磁导率谱上得出的阻尼系数随着Nd含量的升高而有显著增强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 nd 掺杂 cozr 高频 薄膜 及其 制备 | ||
【主权项】：
一种Nd掺杂CoZr基高频软磁薄膜，其特征在于，所述薄膜具体成分为Co100‑x‑yZrxNdy，其中，x＝9～18,y＝1.5～3。
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