[发明专利]涂胶设备和涂胶方法在审
| 申请号： | 201410778509.9 | 申请日： | 2014-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN104391430A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 吴旭;刘兴东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种涂胶设备及涂胶方法，所述喷涂设备用于对基板进行涂胶，所述涂胶设备包括能够相对于所述基板移动的喷涂组件，所述喷涂组件包括多个相互独立的喷涂单元，所述喷涂单元具有朝向所述基板的出口，当所述喷涂组件相对于所述基板移动时，多个所述喷涂单元的出口能够扫描覆盖所述基板的待涂胶区域。本发明将整体的狭缝喷头改变为两排平行且前后互补的多个喷涂单元同时协作进行涂胶，可以更好地控制光刻胶的局部厚度和均匀性。并且，对于不同尺寸的基板只需增加或减少相应地喷涂单元的数量即可，无需整体更换喷头，降低了设备更新、改造的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种涂胶设备，用于对基板进行涂胶，所述涂胶设备包括能够相对于所述基板移动的喷涂组件，其特征在于，所述喷涂组件包括多个相互独立的喷涂单元，所述喷涂单元具有朝向所述基板的出口，当所述喷涂组件相对于所述基板移动时，多个所述喷涂单元的出口能够扫描覆盖所述基板的待涂胶区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410778509.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
