[发明专利]位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法

摘要

本发明提供一种位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法，并且，在对定位对象物进行拍摄来对距基准位置的位移进行检测的技术中，提供一种能够从一个拍摄方向进行拍摄来对定位对象物的位移进行检测，并且拍摄单元的配置的自由度高的技术。为了检测在接近或远离照相机(72)的方向上移动的喷嘴的位移，将照相机的拍摄方向设为与喷嘴(53)的移动平面相交的斜方向。在所拍摄的图像(IM)上，喷嘴(53)的位移反映为上下方向上的移动，通过图案匹配处理在图像内检测喷嘴(53)的位置，由此能够检测出具有图像的深度方向的分量的喷嘴(53)的位移。

主权项

一种位移检测装置，对定位对象物相对于基准位置的位移进行检测，其特征在于，具有：拍摄单元，将所述定位对象物作为拍摄对象物，或将伴随所述定位对象物的位移而与所述定位对象物一体地进行位移的物体作为拍摄对象物，对该拍摄对象物进行拍摄，检测单元，基于所述拍摄单元对所述拍摄对象物进行拍摄得到的检测用图像，对所述定位对象物的位移进行检测；所述拍摄单元将包含与所述拍摄对象物的位移方向平行的分量和与所述位移方向不平行的分量的方向作为拍摄方向，对所述拍摄对象物进行拍摄，所述检测单元基于所述检测用图像与基准图像的图案匹配结果，对所述定位对象物相对于所述基准位置的位移中的与所述拍摄方向不平行的分量进行检测，所述基准图像为在所述定位对象物位于所述基准位置时，所述拍摄单元对所述拍摄对象物进行拍摄而得到的图像。