[发明专利]面发光激光器以及原子振荡器

摘要

本发明提供一种能够实现偏振方向的稳定化的面发光激光器以及原子振荡器。本发明所涉及的面发光激光器(100)包括：基板(10)、以及被设置于基板(10)上方的层叠体(2)，层叠体(2)包括：被设置于基板(10)上方的第一反射镜层(20)、被设置于第一反射镜层(20)上方的活性层(30)、以及被设置于活性层(30)上方的第二反射镜层(40)，在俯视时，层叠体(2)具备：具有第一宽度的第一部分(2a)、具有第二宽度的第二部分(2b)、以及被设置于第一部分(2a)与第二部分(2b)之间并具有比第一宽度或者第二宽度宽的第三宽度的第三部分(2c)，设置有覆盖第一部分(2a)的至少一部分的树脂层(70)。

主权项

1.一种面发光激光器，其特征在于，包括：基板；以及层叠体，其被设置于所述基板上方，所述层叠体包括：被设置于所述基板上方的第一反射镜层、被设置于所述第一反射镜层上方的活性层、以及被设置于所述活性层上方的第二反射镜层，在俯视时，所述层叠体具备：在第二方向上具有第一宽度的第一部分、在所述第二方向上具有第二宽度的第二部分、以及在与所述第二方向垂直的第一方向上被设置于所述第一部分与所述第二部分之间并在所述第二方向上具有比所述第一宽度或者所述第二宽度宽的第三宽度的第三部分，设置有覆盖所述第一部分的至少一部分的树脂层，所述层叠体还包括多个氧化层，所述多个氧化层沿着所述层叠体的轮廓设置于所述层叠体的侧面，并与所述第一反射镜层和所述第二反射镜层相邻，在沿着所述第二方向的截面观察时，所述第一部分中的沿与所述基板垂直的方向从所述基板经由所述多个氧化层直至所述多个氧化层中的最上方的氧化层的上表面的高度，小于所述第一部分中的沿与所述基板垂直的方向从所述基板直至所述第二反射镜层的上表面的最高处的高度。