[发明专利]激光修复系统在审
申请号: | 201410783128.X | 申请日: | 2014-12-16 |
公开(公告)号: | CN104493366A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 杨旸;陈宁;胡贤夫;马鹏程;黄星星 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/70;B23K26/064 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光修复系统,其包括:激光器,用以产生并输出修复用的激光;激光阻挡机构,包括多个激光阻挡部件,所述激光阻挡部件包括设置在激光传播方向上的多个相邻设置的活动挡板,所述多个激光阻挡部件的多个活动挡板组成一个形状可调的激光通过区域。该激光修复系统,可以通过改变活动挡板的不同位置来形成不同形状的激光透光区域,激光可以从激光透光区域透过,然后对基板进行修复。该系统不需利用光掩膜,通过活动活动挡板的移动组合成不同形状的修复图案,简单的结构就可以进行复杂图案的修复,修复过程简单、成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 激光 修复 系统 | ||
【主权项】:
一种激光修复系统,其特征在于,包括:激光器,用以产生并输出修复用的激光;激光阻挡机构,包括多个激光阻挡部件,所述激光阻挡部件包括设置在激光传播方向上的多个相邻设置的活动挡板,所述多个激光阻挡部件的多个活动挡板组成一个形状可调的激光通过区域。
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