[发明专利]探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法

摘要

探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。

主权项

探针伺服角度控制方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：坐标值采集步骤：采集扫描过程中，带动探针或样品台运动的纳米定位台的当前坐标值；并在该步骤结束之后执行探针伺服角度计算步骤；探针伺服角度计算步骤：Φn=12Σi=1m(Σj=1parctan(z(n-j+1)×i-z(n-j)×iy(n-j+1)×i-y(n-j)×i)/p)/m,]]>其中，Φn为探针伺服角度，n、m分别表示带动探针或样品台运动的纳米定位台在Y、X方向上扫描的点数，zn×m表示所述纳米定位台在Y方向上扫描点数为n、X方向上扫描点数为m处的Z坐标值，yn×m表示纳米定位台在Y方向上扫描点数为n、X方向上扫描点数为m处的Y坐标值，p为整数，且1≤p<n；并在该步骤结束之后执行控制信号发送步骤；控制信号发送步骤：发送控制信号给带动探针或样品台运动的纳米定位台，使探针沿与Y轴夹角为Φn的方向接近待测样品的表面；并在该步骤结束之后执行坐标值采集步骤。