[发明专利]一种基板内置环形磁芯电感的工艺方法有效

专利信息
申请号: 201410785623.4 申请日: 2014-12-18
公开(公告)号: CN104465329A 公开(公告)日: 2015-03-25
发明(设计)人: 张立东 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人: 唐纫兰
地址: 214434 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种基板内置环形磁芯电感的工艺方法,它包括以下步骤:步骤一、在载板表面做出第一层铜线路;步骤二、在第一层铜线路上电镀形成内外两圈铜柱;步骤三、在内外两圈铜柱之间加入环形微磁芯;步骤四、对载板表面进行包封减薄,露出铜柱及环形微磁芯表面;步骤五、在塑封料表面电镀第二层铜线路,从而实现内外两圈铜柱之间依次错位连接;步骤六、对第二层铜线路进行包封,完成基板内置环形微磁性电感结构。本发明一种基板内置环形磁芯电感的工艺方法,它通过基板制作工艺把高Q值磁芯环形电感小尺寸地集成到基板里,既能保持环形磁芯电感的优点,又能减小整个封装结构的尺寸。
搜索关键词: 一种 内置 环形 电感 工艺 方法
【主权项】:
一种基板内置环形磁芯电感的工艺方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:步骤一、在载板表面做出第一层铜线路;步骤二、在第一层铜线路上电镀形成内外两圈铜柱;步骤三、在内外两圈铜柱之间加入环形微磁芯,磁芯厚度不高于铜柱高度,磁芯大小与内外两圈铜柱间隙相等,即磁芯大小刚好卡置于内外两圈铜柱之间;步骤四、对载板表面进行包封减薄,露出铜柱及环形微磁芯表面;步骤五、在塑封料表面电镀第二层铜线路,从而实现内外两圈铜柱之间依次错位连接,第一层铜线路、内外两圈铜柱和第二层铜线路形成依次缠绕在环形微磁芯上的线圈;步骤六、对第二层铜线路进行包封,完成基板内置环形微磁性电感结构。
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