[发明专利]蓝宝石的单晶加工炉在审
申请号: | 201410785683.6 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN104562199A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 黄根友 | 申请(专利权)人: | 无锡科诺达电子有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 刘述生 |
地址: | 214151 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石的单晶加工炉,包括:炉桶、第一炉盖、第二炉盖和炉底板,所述第一炉盖和第二炉盖依次设置在炉桶上,所述炉桶的内壁设置有第一加热器、第二加热器和第三加热器,所述第一加热器环绕设置在炉桶内壁上部,所述第二加热器和第三加热器竖直设置在炉桶内壁下部,所述炉底板固定连接在炉桶底部。通过上述方式,本发明蓝宝石的单晶加工炉能够分别满足蓝宝石晶片不同阶段的加热需求,促进蓝宝石晶片的生长,能够严格控制加热器的功率,实现对蓝宝石晶体的逐步加热。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 加工 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石的单晶加工炉,其特征在于,包括:炉桶、第一炉盖、第二炉盖和炉底板,所述第一炉盖和第二炉盖依次设置在炉桶上,所述炉桶的内壁设置有第一加热器、第二加热器和第三加热器,所述第一加热器环绕设置在炉桶内壁上部,所述第二加热器和第三加热器竖直设置在炉桶内壁下部,所述炉底板固定连接在炉桶底部。
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