[发明专利]多晶硅生产中的尾气吸收液和冷凝液回收的分隔壁精馏塔、方法、处理系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产中的尾气吸收液和尾气冷凝液回收的分隔壁精馏塔、方法、处理系统，该分隔壁精馏塔包括进料口，分隔壁精馏塔包括至少部分的设置在其内的分隔壁，分隔壁将分隔壁精馏塔分隔为Ⅰ区域、Ⅱ区域、Ⅲ区域，Ⅲ区域设置于分隔壁精馏塔的塔釜，Ⅰ区域与Ⅱ区域分别设置于分隔壁的两侧，进料口与Ⅰ区域同侧，Ⅰ区域用于解析氯化氢；Ⅱ区域为侧线采出段，Ⅱ区域用于通过侧线采出来收集二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物；Ⅲ区域为Ⅰ区域与Ⅱ区域的公共精馏段，Ⅲ区域用于收集四氯化硅。在一个分隔壁精馏塔内实现了氯化氢、四氯化硅、二氯二氢硅和三氯氢硅混合物的分离，且耗能小、体积小、操作流程简单、回收效果好。

主权项

一种回收多晶硅生产中的尾气吸收液和尾气冷凝液的方法，其特征在于，使用分隔壁精馏塔回收多晶硅生产中的尾气吸收液和尾气冷凝液，该分隔壁精馏塔包括进料口，所述分隔壁精馏塔包括至少部分的设置在其内的分隔壁，所述分隔壁与所述分隔壁精馏塔的塔顶连接，所述分隔壁将所述分隔壁精馏塔分隔为Ⅰ区域、Ⅱ区域、Ⅲ区域，Ⅰ区域与Ⅱ区域在所述分隔壁精馏塔的塔顶区域不连通，所述Ⅲ区域设置于所述分隔壁精馏塔的塔釜，所述Ⅰ区域与所述Ⅱ区域分别设置于所述分隔壁的两侧，所述进料口与所述Ⅰ区域同侧，所述Ⅰ区域为进料段，将多晶硅生产中的尾气吸收液和尾气冷凝液作为原料从所述进料口通入到分隔壁精馏塔内，所述Ⅰ区域用于解析氯化氢，在Ⅰ区域的侧壁位置设置有第一侧线采出口，该第一侧线采出口用于侧线采出二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物，该第一侧线采出口侧线采出的二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物为富含重组分杂质的二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物；所述Ⅱ区域为侧线采出段，所述Ⅱ区域用于通过侧线采出来收集二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物，在Ⅱ区域的塔顶位置设置有第二气体出口，该第二气体出口用于排出轻组分气相氯硅烷，该第二气体出口排出的轻组分气相氯硅烷的主要组分为二氯二氢硅，且为富含轻组分杂质的二氯二氢硅，在Ⅱ区域的侧壁位置设置有第二侧线采出口，通过侧线采出来收集二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物，从第二侧线采出口侧线采出的二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物为高纯度的二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物；所述Ⅲ区域为所述Ⅰ区域与所述Ⅱ区域的公共精馏段，所述Ⅲ区域用于收集四氯化硅。