[发明专利]一种机械手互锁控制方法

摘要

本发明公开了一种离子注入机机械手的控制方法，包括：工控机(1)、PDI控制器(2)、机械手(3)、继电器(4)、气动模块(5)、Loadlock(6)。说明书对一种离子注入机机械手运动控制方法做出了详细说明，并给出具体实施方案。本发明涉及运动控制装置，隶属于半导体制造领域。

主权项

1.一种离子注入机机械手的控制方法，包括：工控机(1)、PDI控制器(2)、机械手(3)、继电器(4)、气动模块(5)、装载锁定装置(6)，其中工控机(1)与PDI控制器(2)之间是通过光纤进行通信，工控机(1)与机械手(3)是通过RS232通信，PDI控制器(2)的开关量信号与气动模块(5)之间通过继电器(4)形成互锁控制信号，气动模块(5)得到开关量信号通过压缩空气控制装载锁定装置(6)的开启和关闭，装载锁定装置(6)通过气缸到位传感器向PDI发出到位信号，传送至工控机(1)；当装载锁定装置(6)需要开启或关闭时，需要确认机械手(3)不运动的信号，气动模块(5)才可接收到PDI控制器(2)发送的开关量信号；工控机(1)通过PDI控制器(2)接收到的到位信号，判断装载锁定装置(6)的位置，根据装载锁定装置(6)位置判断是否可以发送机械手(3)运动指令。