[发明专利]一种离子注入机的靶台识别晶片是否存在的方法在审
| 申请号： | 201410788946.9 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105895485A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 钟武 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机的靶台识别晶片是否存在的方法，包括晶片(1)、静电吸盘(2)、供电导线(3)、产生电流的电源(4)、控制电源的控制线(5)、控制器(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 靶台 识别 晶片 是否 存在 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机的靶台识别晶片是否存在的方法，包括晶片(1)、静电吸盘(2)、供电导线(3)、产生电流的电源(4)、控制电源的控制线(5)、控制器(6)。
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