[发明专利]一种离子注入机的注入数据实时处理与保存方法

摘要

本发明阐述了一种离子注入机晶片注入时采集的数据实时处理和保存方法，其特征在于离子注入机注片时数据采集的实时性、数据保存的简洁性、数据计算结果的准确性、存储数据的可查性。整个流程包括：1、设备运行状态数据实时更新。2、晶片完成单次注入。3、采集数据并保存至队列数组中。4、判断晶片所有注入是否完成。5、数据进行类型转换。6、对起始值、终止值、设置值进行统计。7、对最大值、最小值、平均值、均分值进行计算。8、统计值和计算值按次序合并，并保存至数据库。9、调用数据库，把合并的数据分解成各个独立的数据。10、解析数据判断晶片注入情况。通过上述这些处理，最终完成晶片注入情况信息保存，以便其它程序调用这些数据对晶片注入情况进行分析。

主权项

该离子注入机的注入数据实时处理与保存方法的特征在于：无论晶片注入的时间有多长，注入的次数有多少，采集的数据总量有多大，都能把所有数据实时采集起来，并进行处理。确保数据采集和处理的实时性和准确性。