[发明专利]一种氮化硅晶须的制备方法在审
| 申请号： | 201410788963.2 | 申请日： | 2014-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN104499053A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘在翔;邸庆法 | 申请（专利权）人： | 青岛桥海陶瓷新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B29/62;C30B1/10 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 苏雪雪 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高新技术产业*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化硅晶须的制备方法，由氮化硅粉和硅粉在充有氮气和氢气的氮气炉中高温氮化。在上述方案的基础上，高温氮化之前，所述氮化硅粉和硅粉按照(10～50)∶(90～50)的重量比例混合而成。本发明有益效果：本发明的主要特点是加入了氯化铵、氢气，充分利用硅粉直接氮化过程，制得氮化硅晶须，产物中硅含量极低，转化率高。本发明采用氮化硅粉作为稀释剂，有效控制硅粉氮化过程，具有转化率高、可批量生产且产物纯度高的优势。该方法特别适合批量生产氮化硅晶须。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 硅晶须 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化硅晶须的制备方法，其特征在于：由氮化硅粉和硅粉在充有氮气和氢气的氮气炉中高温氮化。
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