[发明专利]一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201410789858.0 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104501792A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 黄丽斌;高阳;郭海鹏;李晴云;李宏生 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 210018 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分结构，测量Y方向加速度；右侧上下两部分结构形成另一组差分结构，测量X方向加速度。本发明提出的双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，不仅可以有效抑制两组构成差分结构的两个谐振器之间的共模误差，消除两个谐振器之间的耦合影响，而且可以实现X方向和Y方向之间的解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双轴分 体式 差分硅微 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，其特征在于：包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在下层玻璃基座上；其中下层玻璃基座上溅射有信号引线，而上层硅微机械结构包括四个上层硅微机械子结构，分别为第一、第二、第三、第四上层硅微机械子结构，第一、第二、第三、第四上层硅微机械子结构按逆时针方向依次排列，并键合在下层玻璃基座上；其中，第一、第四上层硅微机械子结构形成的差分结构构成第一组加速度测量模块，第二、第三上层硅微机械子结构形成的差分结构构成第二组加速度测量模块，且所述第一组加速度测量模块测量的加速度与第二组加速度测量模块测量的加速度相互垂直。
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