[发明专利]一种切削过程中导轨耦合误差实时在位补偿装置及方法有效

专利信息
申请号: 201410798017.6 申请日: 2014-12-19
公开(公告)号: CN104615082A 公开(公告)日: 2015-05-13
发明(设计)人: 张之敬;孙宏昌;金鑫;邓勇军;许志尧;叶志鹏 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G05B19/404 分类号: G05B19/404
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 刘芳;仇蕾安
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种切削过程中导轨耦合误差实时在位补偿装置及方法,该装置包括微动台、直线度透射镜、激光干涉仪、直线度反射镜、控制器和微动台驱动器;其中,微动台位于滑块上,直线度反射镜和直线度透射镜依次位于激光干涉仪出射光的光路上,且直线度反射镜置于微动台上;激光干涉仪与控制器相连,控制器与微动台驱动器相连;微动台用于提供平移及角度偏转补偿;激光干涉仪用于将检测的滑块耦合误差数据传输给控制器;控制器上存储耦合误差补偿控制模型,基于所述模型利用耦合误差数据计算控制信号,并将控制信号传输给微动台驱动器;微动台驱动器根据接收的控制信号驱动微动台,实现切削过程中导轨耦合误差的实时在位补偿。
搜索关键词: 一种 切削 过程 导轨 耦合 误差 实时 在位 补偿 装置 方法
【主权项】:
一种切削过程中导轨耦合误差实时在位补偿装置,其特征在于,该装置包括微动台、直线度透射镜、激光干涉仪、直线度反射镜、控制器和微动台驱动器;其中,微动台位于滑块上,直线度反射镜和直线度透射镜依次位于激光干涉仪出射光的光路上,且直线度反射镜置于微动台上;激光干涉仪与控制器相连,控制器与微动台驱动器相连;微动台用于提供平移及角度偏转补偿;激光干涉仪用于将检测的滑块耦合误差数据传输给控制器,所述耦合误差数据包括滑块距离偏差Δd(0)和角度偏差Δθ(0);控制器上存储耦合误差补偿控制模型,基于所述模型利用耦合误差数据计算控制信号,并将控制信号传输给微动台驱动器;微动台驱动器根据接收的控制信号驱动微动台,实现切削过程中导轨耦合误差的实时在位补偿。
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