[发明专利]一种切削过程中导轨耦合误差实时在位补偿装置及方法有效
申请号: | 201410798017.6 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN104615082A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 张之敬;孙宏昌;金鑫;邓勇军;许志尧;叶志鹏 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G05B19/404 | 分类号: | G05B19/404 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 刘芳;仇蕾安 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种切削过程中导轨耦合误差实时在位补偿装置及方法,该装置包括微动台、直线度透射镜、激光干涉仪、直线度反射镜、控制器和微动台驱动器;其中,微动台位于滑块上,直线度反射镜和直线度透射镜依次位于激光干涉仪出射光的光路上,且直线度反射镜置于微动台上;激光干涉仪与控制器相连,控制器与微动台驱动器相连;微动台用于提供平移及角度偏转补偿;激光干涉仪用于将检测的滑块耦合误差数据传输给控制器;控制器上存储耦合误差补偿控制模型,基于所述模型利用耦合误差数据计算控制信号,并将控制信号传输给微动台驱动器;微动台驱动器根据接收的控制信号驱动微动台,实现切削过程中导轨耦合误差的实时在位补偿。 | ||
搜索关键词: | 一种 切削 过程 导轨 耦合 误差 实时 在位 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种切削过程中导轨耦合误差实时在位补偿装置,其特征在于,该装置包括微动台、直线度透射镜、激光干涉仪、直线度反射镜、控制器和微动台驱动器;其中,微动台位于滑块上,直线度反射镜和直线度透射镜依次位于激光干涉仪出射光的光路上,且直线度反射镜置于微动台上;激光干涉仪与控制器相连,控制器与微动台驱动器相连;微动台用于提供平移及角度偏转补偿;激光干涉仪用于将检测的滑块耦合误差数据传输给控制器,所述耦合误差数据包括滑块距离偏差Δd(0)和角度偏差Δθ(0);控制器上存储耦合误差补偿控制模型,基于所述模型利用耦合误差数据计算控制信号,并将控制信号传输给微动台驱动器;微动台驱动器根据接收的控制信号驱动微动台,实现切削过程中导轨耦合误差的实时在位补偿。
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