[发明专利]单狭缝空间载波剪切散斑干涉测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 201410798529.2 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104482875A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王永红;冯家亚;王鑫;刘莹雪;杨连祥 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/02;G01N21/88 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单狭缝空间载波剪切散斑干涉测量系统及测量方法，其特征是：激光器出射的激光经过扩束镜之后以扩散光的形式照射被测物，被测物的表面漫反射光依次经过成像镜头、狭缝光阑、4f系统以及迈克尔逊型装置投射在CCD相机的靶面上。本发明可以对被测物表面的缺陷和应力形变进行无损、全场、快速、动态测量，且便于现场测量。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 空间 载波 剪切 干涉 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种单狭缝空间载波剪切散斑干涉测量系统，其特征是：激光器(1)出射的激光经过扩束镜(2)之后以扩散光的形式照射被测物(3)，所述被测物(3)的表面漫反射光依次经过成像镜头(4)、狭缝光阑(5)、4f系统(6)以及迈克尔逊型装置(7)投射在CCD相机(8)的靶面上。
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