[发明专利]具有垂直于基底平面沿逆相方向移动的检测质量块的MEMS加速计

摘要

披露了一种传感器。该传感器包括一个基底和至少两个检测质量块。该传感器还包括在该至少两个检测质量块与该基底之间的一个柔性联接器。该至少两个联接的检测质量块响应于该传感器的加速度而垂直于该基底的平面沿逆相方向进行移动。

主权项

1.一种传感器，包括：一个基底；一个机械结构，该机械结构包括至少两个检测质量块，该至少两个检测质量块包括第一检测质量块和第二检测质量块，其中该至少两个检测质量块通过失衡扭矩响应于该传感器的加速度而垂直于该基底的平面沿逆相方向进行移动；以及在该至少两个检测质量块与该基底之间的一个柔性联接器，其中该柔性联接器包括：至少一个锚杆；一个扭转系统，该扭转系统包括将该至少一个锚杆与一个第一旋转杠杆相连接的一个锚固弹簧；一个平移系统，该平移系统包括将该至少一个锚杆连接至该第一检测质量块上的一个第一平移弹簧、以及将该至少一个锚杆连接至该第二检测质量块上的一个第二平移弹簧，其中该第一平移弹簧和该第二平移弹簧允许该第一检测质量块和该第二检测质量块在垂直于该基底的平面的方向上进行运动，其中一个第一扭转弹簧将该第一检测质量块以第一力臂长度连接至该第一旋转杠杆上，其中一个第二扭转弹簧将该第二检测质量块以第二力臂长度连接至该第一旋转杠杆上，以及其中该第一旋转杠杆的该第一力臂长度和该第二力臂长度是不同的，以便提供该失衡扭矩。