[发明专利]一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法

摘要

本发明公开了一种高织构热解碳薄膜快速制备的方法，包括下述步骤：(1)将密度为1.85～1.90g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；(2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料靶材表面保持垂直；(3)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度≥2000℃热壁上着床、生长,制备出高织构热解碳薄膜。本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的生长，使热解碳薄膜的生长速率达到25～30μm/s，比流态化床工艺的2×10-2μm/s提高3个数量级。

主权项

一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于：以碳/碳复合材料坯体为原料，以大功率激光器为热源，将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，待表面烧蚀形成开口后，调节激光焦距，使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，在倒圆锥状容腔形成过程中，碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔的壁上，生长成为高织构热解碳薄膜。