[发明专利]一种基于阵列波导光栅的混合集成外腔可调激光器

摘要

本发明涉及一种基于阵列波导光栅的混合集成外腔可调激光器，由半导体增益管芯和光波导芯片端面耦合构成，光波导芯片包括阵列波导光栅和阵列波导反射可控组件，由输出端反射可控的阵列波导光栅芯片与半导体增益管芯构成谐振腔，通过改变反射可控组件的驱动条件实现激光器输出波长可调谐，输出波长由阵列波导光栅的各通道中心波长确定，利用阵列波导光栅实现标准ITU-T输出波长的准确控制，同时该结构激光器采用快速的阵列波导反射切换机制，可以实现激光器快速波长调谐切换功能。本发明提供的外腔可调激光器采用芯片耦合技术，相对于传统分立元件结构的外腔激光器具有模式稳定性好、结构简单、有利于大规模生产等优点。

主权项

一种基于阵列波导光栅的混合集成外腔可调激光器，包括光波导芯片、半导体增益管芯，其特征在于：所述光波导芯片包括阵列波导光栅和阵列波导反射可控组件，所述阵列波导反射可控组件包括多个可控器件，所述阵列波导光栅将多个所述可控器件光导通到所述半导体增益管芯；所述半导体增益管芯的两端面分别镀有部分反射膜和增透膜，所述光波导芯片的位于所述半导体增益管芯的增透膜一侧，构成该外腔可调激光器的外腔部分，所述半导体增益芯片的部分反射膜与所述阵列波导反射可控组件构成激光器的谐振腔；多个所述可控器件中的每一个能够通过调控外界驱动条件来改变谐振腔的腔内损耗或者改变光波导芯片反射端的反射特性，从而实现该外腔可调激光器的波长调谐。