[发明专利]具有压力平衡的动涡旋盘的真空涡旋泵

摘要

一种真空涡旋泵(100)，具有框架(210)、固定到所述框架(210)的定涡旋盘(220)、动涡旋盘(230)、用于驱动所述动涡旋盘(230)的偏心驱动机构(240)以及均衡特征(262)，通过该均衡特征，所述偏心驱动机构(240)上生成的轴向负载被抵消。定和动涡旋盘(230P)的涡旋叶片(220B)嵌套，以在定和动涡旋盘(230P)的盘的各相对前侧面(220a)之间限定构成压缩级(260)的空洞。均衡特征(262)包括限定在动涡旋盘(230)的盘(220P)的后侧面(即与提供压缩级(260)一侧相对)的轴向均衡腔(262)以及一机构，该机构使得空洞中间的那一个由所述机构可布置成与所述均衡腔(262)通过动涡旋盘(230)的盘(220P)连通。

主权项

1.一种真空涡旋泵(100)，包括：具有泵入口(140)的入口(140)部分和具有泵出口(150)的排放部分；框架(210)；定涡旋盘(220)，所述定涡旋盘(220)固定到所述框架(210)、并包括具有后侧面和前侧面的固定盘(220P)以及从所述固定盘(220P)的前侧面伸出的固定涡旋叶片(220B)，所述固定涡旋叶片(220B)具有螺旋体形式，所述螺旋体包括从所述固定盘(220P)的中心部分发散出的多个连续的卷数；动涡旋盘(230)，所述动涡旋盘(230)包括具有后侧面和面向所述固定盘(220P)的前侧面的前侧面的绕动盘(230P)，以及从所述绕动盘(230P)向所述固定盘(220P)的前侧面轴向伸出的绕动涡旋叶片(230B)，所述绕动涡旋叶片(230B)具有螺旋体形式，所述螺旋体包括从所述绕动盘(230P)的中心部分发散出的多个连续的卷数，其中所述固定涡旋叶片(220B)和绕动涡旋叶片(230B)是嵌套的，使得各固定涡旋叶片(220B)在其间界定出空洞，所述空洞串联地设置于在所述泵入口(140)和所述泵出口(150)之间并共同构成所述泵(100)的压缩级(260)；偏心驱动机构(240)，所述偏心驱动机构(240)被所述框架(210)支撑并工作连接到所述动涡旋盘(230)，以便使所述动涡旋盘(230)绕所述泵(100)的纵向轴线转动，而所述动涡旋盘(230)被所述偏心驱动机构(240)所支撑，以便绕平行于所述纵向轴线的第二轴线可旋转；管状波纹管(250)，所述管状波纹管(250)具有在所述绕动盘(230P)后侧面连接到绕动盘(230P)的第一端部(251)和连接到所述框架(210)的第二端部(252)；在所述框架(210)内通过所述管状波纹管(250)限定的轴向的均衡腔(262)，其在纵向轴线方向上与所述绕动盘(230P)的部分后侧面对齐；所述绕动盘(230P)中形成的气体旁路通路(264)，所述气体旁路通路(264)连接所述均衡腔(262)和构成所述压缩级(260)的串联的所述空洞的中间一个；以及轴向气体力控制装置，所述装置用于选择性地将所述空洞的中间一个置于与所述均衡腔(262)开放连通的位置以及用于阻断在所述空洞的中间一个与所述均衡腔(262)之间经由所述气体旁路通路(264)的连通。